根據環境潔凈程序，定期將粗過濾器中的濾料拆下清洗，間隔時間一般為3~6個月。當風機組電壓調到大時，工作區風速仍達不到0.3m/s，即必須更換空氣高效過濾器。工作臺更換高效過濾器時，可打開機箱后蓋，更換時應注意過濾器上的箭頭標志，箭頭指向即為層流氣流流向。更換高效過濾器時，應用塵埃粒子計數器檢查四周邊密封是否良好。
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